第九章    计量学与标准化

9.6 NT-206多功能扫描探测显微镜

项目负责单位、联系人

国家科研机关《白俄罗斯科学院雷科夫热质研究所》
地址：220072，明斯克市，明斯克，普罗夫卡大街15号
电话：+375 (17) 284-10-60, 传真：+375 (17) 292-25-13

项目描述

多功能扫描探测显微镜НТ-206是带有硬件和软件的成套设备中的原子动力显微镜，这类成套设备是用于测量和分析平面的微观及毫微凹凸花纹，以及各种微观及毫微范围的客体，及其微观力学和具有纳米精确度的其它性能所必须的。

技术类型

多功能显微镜НТ-206本身包括测量模块和电子控制装置。
   测量模块由底座和安置在底座上的测量端头组成，以保证在静止探头下对移动的样品进行检测时能够自由伸缩（最大限度Ø30 毫米, 高度8毫米）。
   底座用以保障测量端头的安装，其中还包括管状的压电扫描设备和自动开关系统。XY底座使测量端能够在平整的区域为10х10毫米的平面上自由移动（2.5 微米以内，肉眼看到的是10微米），同时也可以手动操控。激光射线的测量端保证了不仅能在静止的状态下使用而且还能在移动的情况下使用。
可视系统为检测提供了方便，可视系统的尺寸为1x0,75 毫米，显示镜的分辨率是640x480，频率是30次/秒
SZM NT-206特点显著，这套设备可以专业化的更换模块并进行摩擦力测量和附着力检测。
SZM广泛用于科研和工业实验以及高等学府的课堂教学。
水平界面的半径尖端曲度为2–20纳米，这个控制系统还可以跟踪探测器的方位，并与之保持一定的距离。

技术类型

• 结构

经济技术优势

在下列状态下NT-206显微镜能够用于进行试验：

• 接触式静态的原子动力显微镜（显示图像，按压，侧面用力）；
• 侧力显微镜检查（原子动力显微镜处于接触的静态）；
• 无接触式能动的原子动力显微镜；
• 半接触式能动的原子动力显微镜（类似Tapping Mode®，显示图像，分阶段剪切，探测器波动）；
• 相位对比显微镜检查（处于混合能动状态的原子动力显微镜）；
• 二线式状态（用于静止和能动的原子动力显微镜）；
• 间歇式升高的二线式状态（用于静止和能动的原子动力显微镜）；
• 多次循环扫描（包括静态和移动）；
• 滋力显微镜检查（二线式方法）；
• 电流经过状态；
• 静态动力光谱学（计算数量性能，用分析电流计算样品弹性模块的表层能量）
• 能动的频率幅差动力扫描；
• 纳米辨别：纳米划痕，直线纳米磨损；
• 动力纳米石印术；
• 温度依赖检查（用于上述所有状态）。

项目创新点

新的技术工艺

推介该技术的领域

在白俄罗斯共和国境内及境外的数十个示范性科研生产机构被推广和使用。

关键词

纳米工艺，原子动力显微镜，纳米诊断，扫描探测显微镜，细胞力学，材料学，粘附性，流变学，纳米摩擦工艺，纳米混合材料，薄膜，生物细胞，微电子学。

项目目前所处阶段

• 正在推广/生产中

知识产权资格

• 保密诺浩技术

技术应用领域

物理，微电子学，光学，薄膜工艺，纳米工艺，半导体，高分子化合物和合成物的生产，真空技术，纳米结构显像，生物学实验（薄膜，细胞等）。

IRC欧洲创新驿站分类信息

• 电子学，信息工艺技术和电视通讯；
• 工业生产，材料和运输业；
• 计量学和标准化；
• 科学（化学、物理等）。

技术适用地区

• 北美
• 南美
• 欧洲
• 亚洲
• 非洲
• 澳洲

实践经验

该项技术被推广和使用

对周围环境的影响

对环境无害

合作形式

• 签订R&D合同
• 合资企业
• 出售

转让技术的限制和条件

—

转让技术时提供的支持

• 技术文件
• 服务人员