Раздел 6. Энергетика


6.4 Автоматизированная опытно-промышленная установка для получения гранулированного кремния термическим разложением моносилана в смеси с водородом в реакторе кипящего слоя

Реквизиты организации-разработчика, контактное лицо

1) ГНУ «Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси»
220072, г. Минск, ул. П. Бровки, 15
Тел.: +375 (17) 284-10-57, факс +375 (17) 292-25-13; е-mail: dsl@hmti.ac.by

Виноградов Л.М., Акулич А.В.

2) ЗАО «Электронточмаш»
124460, г. Москва, Зеленоград, Панфиловский пр-т, 10
Тел./факс +7 (495) 534-23-12; е-mail: info@electrontm.ru

Миркурбанов Х.А.

Аннотация проекта

Установка предназначена для получения гранулированного поликристаллического кремния солнечного качества с размером гранул до 1 мм из моносилана в непрерывном режиме работы.

Описание проекта

Принцип работы установки заключается в создании кипящего (псевдоожиженного) слоя мелкодисперсных кремниевых частиц-затравок с последующим осаждением кремния на их поверхности.
Для этого в кварцевый реактор загружается исходное количество мелкодисперсных кремниевых частиц-затравок с заданным распределением частиц по размерам. Проводится откачка и продувка азотом реактора и газовых магистралей для удаления из технологической среды следов воздуха и влаги. Для создания кипящего слоя частиц-затравок в процессе вывода на режим в нижнюю часть реактора через газораспределительную решетку подается ожижающий газ-азот. В ходе нагрева кипящего слоя азот постепенно замещается водородом.
После достижения кипящим слоем рабочей температуры в реактор подается моносилан в смеси с водородом. Происходит термическое разложение моносилана с образованием кремния, который осаждается на поверхности кремниевых частиц-затравок. При этом они увеличиваются в размере с образованием гранул поликристаллического кремния, которые по достижению определенного размера опускаются в нижнюю часть реактора и выводятся. Для обеспечения непрерывности процесса в реактор подаётся определенное количество новых кремниевых частиц-затравок.

Тип технологии

Технические и экономические преимущества

Инновационные аспекты предложения

Создание впервые в Беларуси и странах СНГ технологического процесса и оборудования для его реализации применительно к важной и динамично развивающейся области солнечной энергетики.

Где была представлена технология

XIII Белорусский энергетический и экологический форум. ВЫСТАВКА.

Ключевые слова

Поликристаллический кремний, кипящий слой, моносилан.

Текущая стадия развития

Статус прав интеллектуальной собственности

Область применения технологии

Получение полупроводниковых материалов.

Классификатор Европейской сети трансфера технологий IRC

Предпочитаемые регионы

Практический опыт

Лабораторный образец установки с реактором кипящего слоя, математические модели позволяющие провести оптимизацию процесса в реакторе кипящего слоя и масштабный переход, исходные расчетные данные на опытно-промышленную установку для получения гранулированного кремния термическим разложением моносилана в смеси с водородом в реакторе кипящего слоя.

Влияние на окружающую среду

Не оказывает.

Предлагаемые формы сотрудничества

Условия и ограничения при передаче технологии

Совместное патентование.

Поддержка, предоставляемая при передаче технологии