第六章   能源


6.4 采用热分解甲硅烷与氢混合物在沸腾层反应器中制取颗粒硅的试验-工业化自动设备

项目负责单位、联系人

1) 白俄罗斯国家科学院雷科夫热质交换研究所
220072,明斯克市,布洛夫金大街,15号
电话: +375 (17) 284-10-57, 传真:+375 (17) 292-25-13; е-mail: dsl@hmti.ac.by

维诺格拉多夫,阿库利奇


2) Elektrontochmash股份公司
124460,莫斯科市,捷列诺格勒区,潘菲洛夫斯基大街,10号
电话/传真:+7 (495) 534-23-12; е-mail: info@electrontm.ru

米尔库尔巴诺夫 

项目简介

这套设备用于从甲硅烷中连续制取颗粒小于1毫米的多晶硅。

项目描述

这套设备的工作原理是:生成微小硅颗粒沸腾层(流化床层)。为此向石英反应器装填符合尺寸的细散性硅颗粒原料。进行抽油、反 应氮吹洗天然气管道,用以去除工艺环境中的空气和水汽。为了生成颗粒沸腾层,在反应器下部设置了气体分配栅格,用以输送天然气-氮气。在对沸腾层的加热过 程中,氮气逐渐被氢气所替换。在沸腾层达到工作温度后,向反应器输送混合了氢气的甲硅烷。发生甲硅烷热分解,并在硅颗粒表面生成硅。在这种情况下生成多晶 硅颗粒,达到尺寸要求的颗粒再进入反应器下部,排出反应器。为了确保生产流程的连续性,需向反应器输送一定数量的硅颗粒新原料。

技术类型

经济技术优势

项目创新点

在白俄罗斯和独联体国家,这套工艺流程和设备尚属首创,适用在迅猛发展的太阳能领域采用。

推介该技术的领域

第13届白俄罗斯能源和生态论坛展览会

关键词

多晶硅,沸腾层,甲硅烷

项目目前所处阶段

知识产权资格

技术应用领域

制取半导体材料

IRC欧洲创新驿站分类信息

技术适用地区

实践经验

安装有沸腾层反应器的装置试验室模型,数学建模使得可以优化沸腾层反应器中的流程,核算用于试验工业设备的初始数据,用于在沸腾层反应器中热分解法制取颗粒硅(利用甲硅烷和氢气混合物)。

对周围环境的影响

对环境无害

合作形式

转让技术的限制和条件

共同注册专利

转让技术时提供的支持