第五章 电子，信息技术和电信行业
5.12.采用热分解甲硅烷与氢混合物在沸腾层反应器中制取颗粒硅的试验-工业化自动设备
项目负责单位、联系人
1) 白俄罗斯国家科学院雷科夫热质交换研究所
220072，明斯克市，布洛夫金大街，15号
电话: +375 (17) 284-10-57, 传真：+375 (17) 292-25-13; е-mail: dsl@hmti.ac.by
项目简介
这套设备用于从甲硅烷中连续制取颗粒小于1毫米的多晶硅。
项目描述
这套设备的工作原理是：生成微小硅颗粒沸腾层（流化床层）。为此向石英反应器装填符合尺寸的细散性硅颗粒原料。进行抽油、反 应氮吹洗天然气管道，用以去除工艺环境中的空气和水汽。为了生成颗粒沸腾层，在反应器下部设置了气体分配栅格，用以输送天然气-氮气。在对沸腾层的加热过 程中，氮气逐渐被氢气所替换。在沸腾层达到工作温度后，向反应器输送混合了氢气的甲硅烷。发生甲硅烷热分解，并在硅颗粒表面生成硅。在这种情况下生成多晶 硅颗粒，达到尺寸要求的颗粒再进入反应器下部，排出反应器。为了确保生产流程的连续性，需向反应器输送一定数量的硅颗粒新原料。
技术类型
经济技术优势
项目创新点
在白俄罗斯和独联体国家，这套工艺流程和设备尚属首创，适用在迅猛发展的太阳能领域采用。
推介该技术的领域
第13届白俄罗斯能源和生态论坛展览会
关键词
多晶硅，沸腾层，甲硅烷
项目目前所处阶段
知识产权资格
技术应用领域
制取半导体材料
IRC欧洲创新驿站分类信息
技术适用地区
实践经验
安装有沸腾层反应器的装置试验室模型，数学建模使得可以优化沸腾层反应器中的流程，核算用于试验工业设备的初始数据，用于在沸腾层反应器中热分解法制取颗粒硅（利用甲硅烷和氢气混合物）。
对周围环境的影响
对环境无害
合作形式
转让技术的限制和条件
共同注册专利
转让技术时提供的支持