|
Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп НТ-206
Аннотация предложения
Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) НТ-206 представляет собой атомно-силовой микроскоп в комплексе с аппаратными и программными средствами, необходимыми для измерения и анализа микро- и нанорельефа поверхностей, объектов микро- и нанометрового размерного диапазона, их микромеханических и других свойств с нанометровым разрешением.
Описание предложения
Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп НТ-206 включает в себя измерительный модуль и блок электроники управления.[br][/br][br][/br]Измерительный модуль состоит из базовой платформы и устанавливаемой на ней измерительной головки. Обеспечивает измерение движущегося образца (максимальные размеры образца: Ø30 мм, высота 8 мм) под неподвижным зондом.[br][/br][br][/br]Базовая платформа обеспечивает установку измерительной головки, а также размещение и сканирование образца. Включает трубчатый пьезосканер XYZ-перемещения исследуемого образца. Содержит систему автоматического подвода/отвода.[br][/br][br][/br]Платформа XY-позиционирования обеспечивает автоматизированное перемещение измерительной головки относительно предметного столика в плоскости XY в пределах 10х10 мм (шаг до 2,5 мкм, визуальный контроль до 10 мкм). Возможно ручное позиционирование.[br][/br][br][/br]Измерительная головка с лазерно-лучевой схемой детектирования отклонения консоли зонда поддерживает работу во всех режимах (статических и динамических). Ориентирован на применение АСМ-зондов (Si, SiN) на чипах размером 3,6x1,4x0,6 мм, устанавливаемых в сменном держателе.[br][/br]Встроенная видеосистема повышает удобство контроля и настройки зонда при обзоре образца и позиционировании зонда. Размер поля обзора видеосистемы 1x0,75 мм, размер окна визуализации 640x480 точек, частота смены кадров до 30 кадр/с.[br][/br][br][/br]В зависимости от специфики исследовательских задач СЗМ НТ-206 может комплектоваться специализированными сменными модулями для проведения микротрибометрических и адгезиометрических измерений или наноиндентирования.[br][/br][br][/br]СЗМ может использоваться в научно-исследовательских и промышленных лабораториях, а также в учебном процессе в вузах.[br][/br][br][/br]Изображение поверхности в атомно-силовом микроскопе получают при сканировании образца в горизонтальной плоскости зондом с радиусом кривизны острия порядка 2–20 нанометров, который зафиксирован на чувствительной консоли. Управляющая система отслеживает положение зонда относительно поверхности образца в каждой измеряемой точке и поддерживает расстояние зонд–образец на постоянном заданном уровне. Изменения вертикального положения зонда в каждой точке измерений образуют матрицу АСМ-данных, характеризующих рельеф и карты свойств поверхности, которая записывается в файл и используется в дальнейшем для обработки, визуализации и анализа результатов измерения.
Тип технологии
Конструкция
Технические и экономические преимущества
НТ-206 позволяет проводить исследования в следующих режимах:[br][/br]* Контактная статическая АСМ (отображение рельефа, силы прижатия, латеральных сил)[br][/br]* Латерально-силовая микроскопия (в режиме контактной статической АСМ)[br][/br]* Бесконтактная динамическая АСМ[br][/br]* Полуконтактная динамическая АСМ (аналог Tapping Mode®, отображение рельефа, сдвига фазы, амплитуды колебаний АСМ-зонда)[br][/br]* Микроскопия фазового контраста (в режиме смешанной динамической АСМ)[br][/br]* Двухпроходный режим (для статической и динамической АСМ)[br][/br]* Двухпроходный режим с переменным подъемом (для статической и динамической АСМ)[br][/br]* Многоцикловое сканирование участка (для статической и динамической АСМ)[br][/br]* Магнитно-силовая микроскопия (двухпроходная методика)[br][/br]* Токовый режим[br][/br]* Статическая силовая спектроскопия (с расчетом количественных характеристик, поверхностной энергии и модуля упругости образца в точке анализа)[br][/br]* Динамическая амплитудно-частотная силовая спектроскопия[br][/br]* Наноиндентирование, наноцарапание, наноизнашивание по линии[br][/br]* Силовая нанолитография[br][/br]* Температурно-зависимые измерения (для всех вышеперечисленных режимов)[br][/br][br][/br]Экономическая эффективность заключается в том, что комплекс может конкурировать с наиболее сложными и дорогими существующими аналитическими приборами, обеспечивает необходимую точность и воспроизводимость результатов анализа при значительно меньшей стоимости без предъявления достаточно высоких требований к квалификации пользователей. Настоятельная потребность разработчиков новых материалов, нанотехнологий, исследователей в точном экспресс-анализе наноматериалов, позволяющем повысить качество выпускаемых изделий и их конкурентоспособность, гарантирует значительное число потребителей такой аппаратуры и методик выполнения измерений.
Текущая стадия развития
Находится в эксплуатации/производстве
Другое:
Внедрено и используется в нескольких десятках образовательных, научно-исследовательских и производственных организациях в Республике Беларусь, а также странах ближнего и дальнего зарубежья.
Статус прав интеллектуальной собственности
Секретное know-how
Область применения технологии
Физика твердого тела, микроэлектроника, оптика, тонкопленочные технологии, нанотехнологии, полупроводниковые технологии, сверхтвердые материалы, стекла и сопряженные технологии, микро- и нанотрибология, чистовая обработка поверхностей, полимеры и композиты на их основе, системы прецизионной механики, магнитной записи, вакуумной техники, визуализация наноструктур, анализ биологических объектов (мембран, клеток и т.д.).
Классификатор Европейской сети трансфера технологий EEN
Нано- и микротехнологии
Предпочитаемые регионы
Северная Америка
Южная Америка
Европа
Азия
Африка
Австралия
Предлагаемые формы сотрудничества
Договор НИОК(Т)Р
Совместное предприятие
Продажа
Поддержка, предоставляемая при передаче технологии
Техническая документация
Услуги персонала
|
