Выставка НАНБ - Просмотр экспонатов

Описание предложения
Молодая Европейская компания-посредник предлагает акустическую технологию, повышающую точность лазерной интерферометрии.[br][/br][br][/br]Лазерная интерферометрия является одной из основных технологий, используемых в устройствах, формирующих изображение, в установках совмещения и последовательного шагового мультиплицирования, в метрологическом оборудовании для производства полупроводников. Этот метод позволяет с высокой точностью устанавливать положение инструментов и манипулировать ими при изготовлении микрочипов.[br][/br][br][/br]Используемые в настоящее время методы интерферометрии не достаточно точны для того, чтобы обеспечить технические условия для технологий будущего, предполагающих управление аппаратурой в воздухе (в подвешенном состоянии). Недостаток данного метода обусловлен нестабильностью параметров воздуха, особенно его температуры. Давление, температура, влажность и примеси из окружающего воздуха влияют на показатели преломления воздуха в траектории интерферометрического измерения, что отрицательно влияет на определение положения инструмента и объекта. Действительно, когда в прецизионных процессах допускаются погрешности менее 100 нм, определение преломляющего коэффициента воздуха представляет серьезную проблему, а для оборудования на данном этапе технологического развития до сих пор остается основным источником неточностей и погрешностей.[br][/br][br][/br]Изменение скорости распространения звука в воздухе является почти в две тысячи раз более «чутким» индикатором изменения температуры воздушной среды, чем преломляющие свойства воздуха. В основу технологии AcWaCo (Acoustic Wavelength Compensation - акустическая компенсация/корректировка длины волны) и лег этот феномен. Для акустического измерения средняя температура в траектории лазерного луча в коротком временном интервале измеряется с точностью менее 1 мК; скорость получения и обновления данных ограничена скоростью распространения звукового сигнала. Данная технология позволяет измерять изменение показателя преломления воздуха с точностью до 1 ppb при частоте обновления данных свыше 350 Гц. Еще одно преимущество акустического метода состоит в том, что действительный показатель преломления в момент замера измеряется по всей длине лазерного луча, чем исключаются погрешности затухания луча в трассе. Технология AcWaCo значительно улучшает точность существующих лазерных интерферометров благодаря компенсации изменений свойств воздуха, которые современные интерферометры не способны отличить от движения мишени.[br][/br][br][/br]При использовании предлагаемой технологии акустическое оборудование устанавливают непосредственно на имеющуюся оптику лазерного интерферометра: оси акустических излучателей располагаются симметрично вокруг лазерного луча для компенсации температурных отклонений. При типичном применении в производстве полупроводников – для координатных столов с рабочим ходом 300 мм – переданные серии звуковых импульсов отражаются от той же точки плоского зеркала, откуда отражается лазерный луч; при таких условиях частота обновления данных с датчиков может превышать 300 раз в секунду, а точность позиционирования объекта может быть менее 1 нм. [br][/br][br][/br]Технология подходит для многоцелевого использования: от производства полупроводников до изготовления жидкокристаллических и TFT-экранов, а также в систем контроля и управления станками, работающими в крайне жестком режиме – одним словом, везде, где потребитель желает действительно исключить искажение лазерных интерферометрических измерений, обусловленное влиянием изменений среды. [br][/br][br][/br]Технология защищена одним патентом США.

Технические и экономические преимущества
Технология АcWaCo эффективна как при небольшом расстоянии до объекта (50 - 600 мм), так и на большой дистанции (0,2 - 10 м), и даже в десятках метров (в зависимости от технических условий и характеристик оборудования). С помощью данной технологии, погрешности линейных измерений могут быть сокращены в 10 – 100 раз. Акустическую оснастку AcWaCo можно монтировать на любом существующем лазерном интерферометре и эксплуатировать с обычными персональными компьютерами, в которых имеется порт USB.[br][/br][br][/br]Экономический эффект может оказаться довольно значительным, поскольку в дальнейшем отпадает необходимость использования оборудования в вакуумных камерах.

Статус прав интеллектуальной собственности
Патент получен

Область применения технологии
Технология применима главным образом для усовершенствования прецизионных процессов изготовления полупроводников, так как оборудование AсWaCо дает возможность достигнуть высокой точности при расположении и позиционировании микросхем в пределах нескольких нанометров (по утверждению разработчиков, до 1 нм). Другая область применения данной технологии – производство экранов ЖКИ и TFT. Технология AсWaCо позволяет значительно уменьшить средний размер пикселя таких экранов и увеличить до нескольких метров размеры дисплеев данного типа. В машиностроении технологию от AсWaCо можно использовать в лазерных интерферометрических системах управления станками: в затрудненных условиях производственных цехов точность управления улучшается как минимум в 10 раз. На производстве технология AсWaCо повышает точность измерений, выполняемых координатно-измерительными машинами.

Классификатор Европейской сети трансфера технологий IRC
Метрология и стандартизация

Классификатор Сети американского коммерческого центра трансфера технологий yet2.com
Приборы и оборудование
Оптика
Физика

Предлагаемые формы сотрудничества
Венчурное финансирование
Договор НИОК(Т)Р
Совместное предприятие
Лицензирование