Многоканальный лазерный генератор изображений Раздел ЛАЗЕРНАЯ ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ Программа Оптическое станкостроение, технология оптико-механического производства Область применения Оптическое станкостроение. Описание Разработан многоканальный лазерный генератор изображений (установки) для формирования топологических структур на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Изображение формируется по принципу растрового сканирования. В системе экспонирования используется непрерывный ультрафиолетовый аргоновый ионный лазер с длиной волны 257,2 нм. Мощность лазера 1000мВт. Модель Innova Sobre MotoFred фирмы Coherent. Технические характеристики: • размер минимального элемента, 600 нм; • время экспонирования области 100х100 мм, 60 мин; • размер поля экспонирования, 215х215 мм; • совмещаемость комплекта шаблонов, 70 нм; • совмещаемость второго слоя 100 нм; • неровность края элементов топологии, 40 нм; • дискретность адресной сетки, 1,25 нм; • масса установки, не более, 2100 кг; • электропитание и потребляемая мощность 230/400 В, 50 Гц, 25 кВт; • площадь, необходимая для размещения установки, 22 мx • дискретность адресной сетки 5 нм. Научно-технический уровень Соответствует уровню аналогов. Степень готовности Проведена подготовка, идёт освоение производства. Ожидаемый результат Высокотехнологичная продукция. Форма реализации Окупаемость проекта – 3 года.	Организация разработчик   НПРУП «Конструкторское бюро точного элек-тронного машиностроения — оптико-механического оборудования» (УП «КБТЭМ-ОМО») Адрес: 220763, г. Минск, пр-т Партизанский, 2 Тел.: (+375 17) 226-12-05 Факс: (+375 17) 226-12-05 E-mail: Zvp@kbtem.avilink.net WWW: http://www.planar.by Директор: Аваков Сергей Мирзоевич
Разработка сайта: Adashkevich@tut.by © Государственный комитет по науке и технологиям Республики Беларусь, 2009 г.