Раздел
|
ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ
|
Отрасль промышленности
|
Материалы для электроники и радиотехники
Технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства
Проектирование и конструирование электронных приборов и радиоэлектронной аппаратуры
Твердотельные приборы
|
Программа
|
Новые материалы и технологии
|
Область применения
|
Для кристаллов приборов повышенной термостойкости (диодов Шотки серии SB).
|
Описание
|
Разработанная технология планарной металлизации кристаллов, устойчивых к повышенным температурам сборки и эксплуатации приборов — диодов Шоттки серии SB отличается достижением приемлемой адгезии плёнок — до 30 МПа, а также пониженным уровнем остаточных механических напряжений, определяющих стабильность плёнок в условиях эксплуатации, в том числе при термоциклировании, а также надёжность приборов. Проведенные испытания, кристаллов полупроводниковых приборов серии SB показали, что кристаллы приборов выдерживают в отличие от ранее изготавливаемых кристаллов температуру эксплуатации до 150 °С, что соответствует показателям для лучших зарубежных аналогов.
|
Научно-технический уровень
|
Превосходит технологию получения тонкоплёночных покрытий на кремнии по значению предельной температуры эксплуатации. Отечественных производителей приборов аналогичного класса не имеется. Соответствует уровню технологии производства зарубежных аналогов — кристаллов диодов Шоотки серии SB типа I0CTQI50,10CTQ150S и др.
|
Степень готовности
|
Технология внедрена в производство.
|
Ожидаемый результат
|
Увеличение срока эксплуатации изделий. Разработка соответствует современным экологическим требованиям и её широкое использование не приведет к ухудшению экологической обстановки на предприятии.
|
Форма реализации
|
Требуемый объем инвестиций будет определен после уточнения номенклатуры приборов, в которых предполагается использование разработанных наноструктурных материалов тонкоплёночных покрытий и технологии их формирования.
|