Полирующая суспензия на основе диоксида кремния Раздел ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ Отрасль промышленности Технология и оборудование для электронного и радиотехнического производства Программа Малотоннажная химия Область применения Предприятия электронной промышленности для предварительной полировки изделий оптики и электроники. Описание Разработана концентрированная полирующая суспензия на основе диоксида кремния для стадии предварительной полировки пластин монокристаллического кремния. Характеристики: • плотность — 1,075—1,085 г/см3; • содержание SiO2, масс. — 12,5 %; • рН суспензии при 20 °С — 11,8—12; • размер частиц SiO2 — 10—40 нм; • цена за 1 л суспензии — 3,3—4,5 у.е.; • внешний вид — жидкость молочного цвета, без посторонних механических включений; • вязкость полирующей суспензии равна 1,25 мПа*с; • гарантийный срок хранения суспензии при соблюдении требований разработанных технических условий составляет 6 месяцев. Научно-технический уровень Параметры полирующей суспензии соответствуют лучшим мировым образцам (например, «Fudjimi» (Япония),Nalko (США) ). Степень готовности Организовано опытно-промышленное производство. Ожидаемый результат Применение полирующей суспензии для стадии предварительной полировки пластин монокристаллического кремния позволит увеличить скорость предварительной полировки пластин и снизить трудоёмкость операции на 20—30 %. отказаться от импортных материалов и снизить затраты на производство единицы конечной продукции. Форма реализации Реализация суспензии по договорам. Срок окупаемости проекта 2—3 года.	Организация разработчик Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины Адрес: 246699, г. Гомель, ул. Советская, 104 Тел.: (+375 232) 57-82-58 Факс: (+375 232) 57-30-02 E-mail: nis@gsu.unibel.by WWW: http://www.gsu.unibel.by Директор: Селькин Михаил Васильевич
Разработка сайта: Adashkevich@tut.by © Государственный комитет по науке и технологиям Республики Беларусь, 2007 г.